專注半導(dǎo)體行業(yè)
的儀器制造商和服務(wù)商13584134215
當(dāng)前位置：首頁 > 產(chǎn)品中心 > > 等離子清洗機(jī) > PT3000等離子清洗機(jī)
簡要描述：等離子清洗機(jī)1、采用射頻電源、自動(dòng)匹配器，一鍵式操控。2、低溫等離子體，能量低、密度高，適合處理特殊材料。3、無環(huán)境污染、無化學(xué)品消耗。4、可處理形狀復(fù)雜的材料，材料表面處理的均勻性好。5、適用性廣，各種材料、形狀都可以處理。
所在城市：無錫市 廠商性質(zhì)：生產(chǎn)廠家更新日期：2024-10-16訪 問 量：4328產(chǎn)品分類
詳細(xì)介紹
| 品牌 | LEBO/雷博 | 產(chǎn)地類別 | 國產(chǎn) |
|---|---|---|---|
| 應(yīng)用領(lǐng)域 | 能源,電子,綜合 |
設(shè)備的優(yōu)點(diǎn)：
1、采用射頻電源、自動(dòng)匹配器，一鍵式操控。
2、低溫等離子體，能量低、密度高，適合處理特殊材料。
3、無環(huán)境污染、無化學(xué)品消耗。
4、可處理形狀復(fù)雜和微細(xì)結(jié)構(gòu)的材料。
設(shè)備的參數(shù)：
腔體材質(zhì) ：鋁合金
供電電源 ： AC220V、1000W
濺射電壓：MAX 2500V
濺射電流：MAX 30mA
靶材尺寸：直徑57mm，厚度0.1~0.5mm
射頻電源功率： 0-300W可調(diào)
射頻頻率： 13.56MHz
真空度：≤100Pa
氣體路數(shù)：2路
氣體流量：MFC氣體質(zhì)量流量計(jì) 500SCCM（可調(diào)）
控制： 觸屏
清洗時(shí)間：1-6000s連續(xù)可調(diào)
處理尺寸：≤8寸
內(nèi)腔尺寸：226mm（長）*126mm（高）*224mm（深）
外形尺寸： 620mm*560mm*410mm（寬*深*高）
重量：≈38KG
真空泵：飛越ARV-4
產(chǎn)品咨詢
聯(lián)系人：陸燕
地址：江蘇江陰金山路201號(hào)創(chuàng)智產(chǎn)業(yè)園A座五樓南
郵箱：lu.yan@leboscience.cn歡迎您關(guān)注我們的微信公眾號(hào)了解更多信息
掃一掃
歡迎來到